非接触式光学3D表面轮廓仪白光干涉仪Z向0.1 nm垂直分辨率,台阶测量重复性0.08%;复合型干涉算法,兼顾超光滑与粗糙样品;支持多物镜选配、图像拼接;输出符合国际国内标准的3D形貌参数,用于微纳表...
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